2.1 表面改性方法
采用两种离子束技术，离子注入及离子束增强沉积进行热解碳表面改性。离子注入参数是：氮离子注入能量5～20 KeV，剂量5×1016～25×1016 at/cm2，离子束增强沉积方法是：在真空度为5×10-7 torr的样品室内充入氧气，压力为1～13×10-6 torr，用电子束蒸发装置向样品台上的热解碳表面蒸发沉积钛，沉积速率1～10
/S，同时用Xe离子束轰击样品表面，Xe+离子束能量40 KeV，束流密度为10～40 μA/cm2。薄膜中Ti∶O2的比例可通过控制Ti蒸发速率和氧气压力实现。
2.2 成分、价态测定及表面物理性质研究
用俄歇电子能谱仪和X光电子能谱仪测定经N+离子注入及表面离子束增强沉积Ti-O薄膜的热解碳的成分与价态，用四探针电阻测定仪测定Ti-O薄膜的电阻率，用接触角测定材料表面能。根据以下公式：
其中：rLv、rpLv、rdLv分别为测试液体的表面能及其极性分量和色散分量，计算材料表面能的极性分量rps和色散分量rds。
2.3 血液相容性研究
3 结果
对未处理及N+离子注入热解碳样品表面XPS分析表明：未处理的热解碳C1s(图1a)有两个峰位，284.4 eV和288.9 eV，位于284.4 eV处谱峰是热解碳的单质状态的非晶结构的碳原子C1s峰，位于288.9eV峰是与氧化合的部分碳原子(CO型)的C1s峰，经低能N+离子注入后(图1b)在286.8eV处有新的谱峰形成，根据关于碳氮化合物研究报导［7］可以确定该峰是非化学计量比的碳氮化合物CNx的C1s。表1为XPS和AES分析获得的热解碳表面氮含量和CNx的含量。
上一页 1 [2] 3 4 5 6 下一页
